[发明专利]一种精密主动减振装置有效
| 申请号： | 201110058574.0 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102162500A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;李巍;徐振高;袁志扬;吴文江 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F16F13/00 | 分类号： | F16F13/00;F16F7/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压电块可以采用垂直布置，也可以采用45度倾斜布置，采用倾斜布置的压电块结构可以同时测量和抑制水平向振动和垂向振动。另外，一种实现水平面隔振的减振装置可以提供360度水平面的振动隔离，其内部采用线切割加工出螺旋线形槽。水平面隔振减振装置与垂向精密主动减振装置结合使用，既可以主动抑制垂向振动，又可被动隔离水平振动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 主动 装置 | ||
【主权项】：
一种精密主动减振装置，其特征在于，该装置包括在同一基体内加工而成的被动减振部分与主动减振部分，主动减振部分位于被动减振部分上面，二者之间为中间断开的直线隔离槽，直线隔离槽为螺旋线形槽；主动减振元件采用的压电块结构，其中压电块的预压力由折叠弹簧提供，被动减振元件采用的是柔性铰链结构，整个装置关于垂向中心线轴对称。
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