[发明专利]制造芯片的方法、气体传感器装置、在芯片上镀碳纳米管的方法无效
| 申请号： | 201110058648.0 | 申请日： | 2011-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN102279220A | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 潘元志 | 申请（专利权）人： | 潘元志 |
| 主分类号： | G01N27/70 | 分类号： | G01N27/70;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;汪海屏 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种制造芯片的方法，芯片用于气体传感器，包括：步骤102，在基底上制作芯片的电极；步骤104，在基底上制作电极间的连线；步骤106，在电极上镀上碳纳米管。通过本技术方案，可以制造出电极上具有碳纳米管的芯片，通过碳纳米管保证了气体传感器对气体快速灵敏地检测。本发明还提供一种气体传感器装置和在芯片上镀碳纳米管的方法。通过本发明，通过电极上的碳纳米管，增强气体传感器的芯片对气体检测的速度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 芯片 方法 气体 传感器 装置 上镀碳 纳米 | ||
【主权项】：
一种制造芯片的方法，所述芯片用于气体传感器，其特征在于，包括：步骤102，在基底上制作所述芯片的电极；步骤104，在所述基底上制作所述电极间的连线；步骤106，在所述电极上镀上碳纳米管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于潘元志，未经潘元志许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110058648.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无线网络的功率管理
- 下一篇：包括多个管芯和引线取向的管芯封装
