[发明专利]测温用探头、测温系统及采用了该探头的测温方法无效
申请号: | 201110059856.2 | 申请日: | 2011-03-11 |
公开(公告)号: | CN102192799A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 松土龙夫 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | G01K11/12 | 分类号: | G01K11/12 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供测温用探头、测温系统及采用了该探头的测温方法。该测温用探头不需要用于设定光路长度的复杂的操作,而且,对测温对象物的制约较少,应用范围较广。该测温用探头利用低相干光的干涉,其中,包括:抵接构件(71),其与测温对象物的表面抵接而与测温对象物热同化;准直器(72),其向抵接构件(71)照射由低相干光构成的测量光(74)并分别接收来自抵接构件(71)的表面的反射光(75a)和来自抵接构件(71)的背面的反射光(75b);筒状构件(73),其用于将抵接构件(71)和准直器(72)的间隔规定为规定长度,并且用于使测量光(74)和反射光(75a、75b)的光路自放置测量对象物的气氛隔离。 | ||
搜索关键词: | 测温 探头 系统 采用 方法 | ||
【主权项】:
一种测温用探头,该测温用探头利用了低相干光的干涉,其特征在于,该测温用探头包括:温度获取构件,其与测温对象物的表面抵接而与上述测温对象物热同化;光照射部/受光部,其用于向该温度获取构件照射由上述低相干光构成的测量光,并分别接收来自该温度获取构件的表面的反射光和来自该温度获取构件的背面的反射光;筒状构件,其用于将上述温度获取构件和上述光照射部/受光部之间的间隔规定为规定长度,并且用于使上述测量光和上述反射光的光路自放置上述测温对象物的气氛隔离。
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