[发明专利]托盘装置及结晶膜生长设备

摘要

本发明属于结晶膜生长技术领域，具体提供一种用于承载被加工基片的托盘装置，其包括多个沿纵向层叠设置的托盘，并且相邻托盘之间具有一定间距。此外，本发明还提供一种结晶膜生长设备，其包括工艺腔室、工艺气体输送系统及排气系统，并且在所述工艺腔室内设置有本发明提供的上述托盘装置，用以在工艺过程中承载基片。本发明提供的托盘装置及具有该托盘装置的结晶膜生长设备，能够以较低的成本来增加每次工艺所能处理的基片数量，进而提高产能。

主权项

一种托盘装置，用于承载被加工基片，其特征在于，包括多个沿纵向层叠设置的托盘，并且相邻托盘之间具有一定间距。