[发明专利]压力检测系统和温度传感器的组合体以及立式热处理装置

摘要

本发明提供压力检测系统和温度传感器的组合体以及立式热处理装置。该立式热处理装置以简单的构造设有用于检测炉主体和处理容器之间的空间内的压力的压力检测传感器。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。贯穿炉主体地设有收纳有温度传感器信号线的保护管，在保护管上形成有压力检测孔。在该压力检测孔上连接有压力检测传感器。

主权项

一种立式热处理装置，其特征在于，该立式热处理装置包括：炉主体，在该炉主体的内周面上设有加热部；处理容器，其配置在炉主体内，在该处理容器和炉主体之间形成有空间，在该处理容器内部收纳多个被处理体；温度传感器，其配置在炉主体和处理容器之间的空间；空气供给管路，其与炉主体相连接，该空气供给管路用于向空间内供给冷却用空气；空气排气管路，其与炉主体相连接，该空气排气管路用于自空间内排出冷却用空气；鼓风机，其配置在空气供给管路和空气排气管路中的至少一方上；空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构，该空气供给管路侧阀机构设在空气供给管路上，该空气排气管路侧阀机构设在空气排气管路上，在该立式热处理装置上设有自炉主体外方贯穿炉主体而延伸至炉主体和处理容器之间的空间的保护管，在该保护管内收纳有与温度传感器相连接的温度传感器信号线，并且，在该保护管上形成有朝向空间开口的压力检测孔，且在炉主体外方设有与保护管的压力检测孔相连接的压力检测传感器。