[发明专利]具有基板通孔的噪声去耦合结构有效
申请号: | 201110060876.1 | 申请日: | 2011-03-14 |
公开(公告)号: | CN102420216A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 陈家忠;周淳朴;刘莎莉 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/58 | 分类号: | H01L23/58 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;高雪琴 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种装置,其包括:基板,具有前表面和后表面;集成电路器件,在基板的前表面处;以及金属板,在基板的后表面上,其中,金属板与整个集成电路器件基本上重叠。保护环延伸到基板中并且环绕集成电路器件。保护环由导电材料形成。基板通孔(TSV)穿过基板并且电连接至金属板。 | ||
搜索关键词: | 具有 基板通孔 噪声 耦合 结构 | ||
【主权项】:
一种装置,包括:基板,包括前表面和后表面;集成电路器件,在所述基板的所述前表面处;金属板,在所述基板的所述后表面上,其中,所述金属板与整个所述集成电路器件基本上重叠;保护环,延伸至所述基板并且环绕所述集成电路器件,其中,所述保护环由导电材料形成;以及基板通孔(TSV),穿过所述基板并且电连接至所述金属板。
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