[发明专利]一种精密的振镜校正系统及校正方法

摘要

本发明适用于激光加工技术领域，提供一种精密的振镜校正系统及其校正方法；振镜校正系统包括：振镜校正标靶，可由振镜扫描模块通过反射激光在所述校正标靶上标记指定标记点；CCD图像采集装置，对振镜标刻出的标准标记点进行图像采集；二维运动平台装置，进行高精密定位运动，保证定位精度；校正处理模块，对所述CCD图像采集装置采集的图像进行运算处理，找出所述振镜校正标靶的标记点的位置偏差，并生成振镜补偿文件对振镜进行校正，本发明可方便、快速实现对振镜的高精度校正。

主权项

一种精密的振镜校正系统，它包括振镜校正标靶(31)，其特征在于：所述的精密的振镜校正系统还包括：一个二维运动平台(32)，该二维运动平台(32)设在振镜校正标靶(31)的底部；对振镜校正标靶(31)上每个标记点进行图像采集的CCD图像采集装置(33)，该CCD图像采集装置(33)安装在二维运动平台(32)的上方；用于控制二维运动平台(32)的运动，把振镜校正标靶(31)上的每个标记点运动到理论位置，对采集的图像计算出每个标记点的位置偏差，并输出振镜校正文件给振镜控制系统(1)，对振镜进行校正的校正处理模块(34)。