[发明专利]MEMS麦克风及其形成方法有效
| 申请号： | 201110061552.X | 申请日： | 2011-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN102158788A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 柳连俊 | 申请（专利权）人： | 迈尔森电子（天津）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 300381 天津市南开*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种MEMS麦克风及其形成方法，其中MEMS麦克风包括：基底，所述基底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面；贯穿所述基底的开口；形成在所述基底的第一表面的多个连接电极；位于在所述基底第一表面并覆盖所述多个连接电极的介质层；位于在所述介质层内的导电插塞；位于所述介质层内并与开口贯通的空腔；位于空腔内的敏感薄膜；位于敏感薄膜表面的至少一个的敏感薄膜支撑；部分位于所述介质层表面并连接所述敏感薄膜支撑的敏感薄膜支撑桥臂；与所述敏感薄膜对应的固定电极，且所述固定电极内形成有多个贯穿所述固定电极的通孔；与导电插塞电连接的顶层电极。本发明能够降低MEMS麦克风的应力，且能够避免敏感薄膜和固定电极损伤。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：敏感薄膜和与所述敏感薄膜相对的固定电极；位于所述敏感薄膜的与所述固定电极相对的表面的至少一个的敏感薄膜支撑；连接所述敏感薄膜支撑的敏感薄膜支撑桥臂。
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