[发明专利]具有可枢转的阀关闭梁的活板输送阀

摘要

本发明涉及将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中的活板输送阀，活板输送阀具有：细长的第一开口(1)，其由第一密封平面(41)上的第一密封表面(3)以框架形式围绕；以及细长的阀关闭梁(4)，其具有第二密封表面(9)，该第二密封表面对应于第一密封表面，能与第一密封表面气密接触，并位于第二密封平面(42)上。阀关闭梁的背面(7)上设置支撑件(40)，阀关闭梁在支撑件上布置成其能经由可枢转连接(43)绕倾转轴线(44)枢转过限定枢转角。支撑件与阀关闭梁一起借由枢转支撑件(60)可绕枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)间枢转。枢转轴线在第一密封平面上，倾转轴线在第二密封平面上。

主权项

一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中，该活板输送阀具有：·细长的特别是狭缝形的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线(2)延伸，并且由位于第一密封平面(41)上第一密封表面(3)以框架的形式围绕；·细长的阀关闭梁(4)，‑该阀关闭梁沿平行于所述第一纵向轴线(2)的第二纵向轴线(5)延伸，并且‑该阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表面(8)；并且‑该阀关闭梁具有第二密封表面(9)，该第二密封表面对应于所述第一密封表面(3)，能与所述第一密封表面气密接触，并且位于所述关闭表面(8)的边缘区域中并且位于第二密封平面(42)上；·至少一个支撑件(40)，所述至少一个支撑件位于所述阀关闭梁(4)的与所述正面(6)相对的背面(7)上，其中，所述阀关闭梁(4)布置成使其经由所述支撑件(40)上的可枢转连接(43)能够绕与所述第二纵向轴线(5)平行的倾转轴线(44)枢转通过限定的枢转角；以及·枢转支承件(60)，所述支撑件(40)通过该枢转支承件与所述阀关闭梁(4)一起能够绕与所述第二纵向轴线(5)平行的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)之间枢转，其中‑在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁(4)的所述关闭表面(8)盖住并封闭所述第一开口(1)，并且所述第一密封表面(3)与所述第二密封表面(9)通过借由所述支撑件(40)施加至所述背面(7)的力的施加而在共同的第一密封平面(41)和第二密封平面(42)上气密接触，并且‑在所述开启位置(O)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)，从而至少部分地释放所述第一开口(1)，所述活板输送阀的特征在于：·所述枢转轴线(10)大致位于所述第一密封平面(41)上，并且·所述倾转轴线(44)大致位于所述第二密封平面(42)上。