[发明专利]多晶硅生产线尾气回收净化处理装置有效
| 申请号： | 201110065228.5 | 申请日： | 2011-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102160962A | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 蒋超 | 申请（专利权）人： | 蒋超 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/96;C01B33/107;C01B33/12;C01B7/07 |
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| 地址： | 213175 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，包括依次连接的氯硅烷回收装置、盐酸与白炭黑回收装置和尾气净化装置，还包括控制各装置工作的电气控制单元，本发明的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置通过冷凝、回收和中和，回收尾气中的氯硅烷、生产副产品盐酸与白炭黑，并达到尾气达标排放，无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产线 尾气 回收 净化 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：包括依次连接的氯硅烷回收装置(1)、盐酸与白炭黑回收装置(2)和尾气净化装置(3)，还包括控制各装置工作的电气控制单元，所述的氯硅烷回收装置(1)包括冷凝装置(1‑1)和氯硅烷回收罐(1‑2)，冷凝装置(1‑1)的气体进口管路连接生产线尾气出口，冷凝装置(1‑1)的冷凝液体出口管路连接氯硅烷回收罐(1‑2)；所述的盐酸与白炭黑回收装置(2)包括盐酸回收塔(2‑1)、盐酸循环池(2‑2)、盐酸回收罐(2‑3)、超声波循环槽(2‑4)、白炭黑过滤槽(2‑5)和白炭黑回收罐(2‑6)，盐酸回收塔(2‑1)的气体进口管路连接所述的冷凝装置(1‑1)的气体出口，盐酸回收塔(2‑1)的洗涤液出口管路连接超声波循环槽(2‑4)的进口，超声波循环槽(2‑4)的出口连接到白炭黑过滤槽(2‑5)的进口，白炭黑过滤槽(2‑5)的白炭黑出口管路连接白炭黑回收罐(2‑6)，白炭黑过滤槽(2‑5)的盐酸出口连接到盐酸循环池(2‑2)的进口，盐酸循环池(2‑2)的盐酸出口管路分别连接盐酸回收罐(2‑3)和盐酸回收塔(2‑1)的洗涤液进口；所述的尾气净化装置(3)包括尾气净化塔(3‑1)和碱液循环池(3‑2)，尾气净化塔(3‑1)的气体进口管路连接所述的盐酸回收塔(2‑1)的气体出口，尾气净化塔(3‑1)的洗涤液进口管路连接碱液循环池(3‑2)的洗涤液出口，尾气净化塔(3‑1)的洗涤液出口管路连接碱液循环池(3‑2)的洗涤液进口。
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