[发明专利]微波等离子体激发装置有效
| 申请号： | 201110065895.3 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102595759A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张志振;黄昆平;谢宇泽 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种微波等离子体激发装置，包括一等离子体反应腔室、一金属窗框、具有多个窗口的多个窗格、多个微波发射机以及多个导波管。所述金属窗框设置于等离子体反应腔室的一面。窗格设置于金属窗框的窗口内，微波发射机则设置于等离子体反应腔室外。而导波管分别连接各个微波发射机与各个窗格，以构成多个等离子体激发单元。另外，在金属窗框上分别放置多个永久磁铁，则可使上述微波等离子体激发装置用作可大面积化的电子回旋共振等离子体装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 激发 装置 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体激发装置，包括：等离子体反应腔室；金属窗框，设置于该等离子体反应腔室的一面，且该金属窗框具有多个窗口；多个窗格，设置于该金属窗框的该些窗口内；多个微波发射机，设置于该等离子体反应腔室外；以及多个导波管，分别连接该些微波发射机之一与该些窗格之一，以构成多个等离子体激发单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110065895.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
