[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

摘要

一种固体摄像装置，包括n型的扩散层、p型的第1、第2扩散层以及p型的a-非晶硅化合物。该n型的扩散层形成在n型的半导体衬底表面内，发挥对通过从上述半导体衬底的背面侧向表面侧照射的光而在上述半导体衬底内生成的电子进行累积的电荷累积部的功能。该p型的第1、第2扩散层夹着上述电荷累积部，形成为从上述半导体衬底表面到达该半导体衬底内。该p型的a-非晶硅化合物将上述电荷累积部电分离，埋入形成为使上述半导体衬底的上述背面侧开口的第1、第2槽。

主权项

一种固体摄像装置，其特征在于，包括：第1导电型的扩散层，形成于上述第1导电型的半导体衬底表面内，上述扩散层发挥累积电子的电荷累积部的功能，上述电子是通过从上述半导体衬底的背面侧向表面侧照射的光而在上述半导体衬底内生成的；第2导电型的第1扩散层、第2扩散层，以夹着上述电荷累积部且从上述半导体衬底表面到达该半导体衬底内的方式而形成；以及p型的非晶硅化合物，埋入形成于上述半导体衬底的上述背面侧的第1槽、第2槽，该第1槽、第2槽将上述电荷累积部电分离。