[发明专利]基于电子束扫描显微镜环境下的温度测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201110066898.9 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102183313A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 孙立娟;李喜德 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳米测温技术领域，特别是一种基于电子束扫描显微镜环境下的温度测量系统及测量方法。该系统包括温度测量部分，精确定位部分、数据读出与传输部分，温度测量部分包括探针式热电偶，其前端焊接着钨丝探针；精确定位部分包括扫描电镜以及安装在扫描电镜中的微纳米操纵仪，并将探针式热电偶安装在微纳米操纵仪上；数据读出与传输部分含精密数显表、馈入装置和热电偶专用导线；热电偶专用导线与探针式热电偶连接，所读出的数据经过馈入装置从扫描电镜中导出，接入精密数显表，读出此时的待测区域温度。定位精度高，适合不同长度、宽度和面积的材料和结构的在真空环境下温度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电子束 扫描 显微镜 环境 温度 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
一种基于电子束扫描显微镜环境下的微纳米区域温度测量系统，该系统包括温度测量部分，精确定位部分、数据读出与传输部分，其特征在于，所述温度测量部分包括探针式热电偶(6)，其前端焊接着经过腐蚀后的钨丝探针；所述精确定位部分包括扫描电镜以及安装在扫描电镜中的微纳米操纵仪(5)，并将所述探针式热电偶(6)安装在微纳米操纵仪(5)上，用微纳米操纵仪(5)带动探针式热电偶(6)，移动到待测位置，实现精确定位；所述的数据读出与传输部分含精密数显表(4)、馈入装置(2)和热电偶专用导线(3)，其中，馈入装置(2)用于连接SEM腔体内外并保证腔体内的真空度；所述热电偶专用导线(3)与探针式热电偶(6)连接，所读出的数据经过馈入装置(2)从扫描电镜中导出，接入精密数显表(4)，读出此时的待测区域温度。
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