[发明专利]模块式电调谐微流控阵列光开关芯片

摘要

模块式电调谐微流控阵列光开关芯片采用“盖板+波导层+底板”结构，其中，第一层为盖板(1)，盖板上留有接线孔(2)；第二层为波导层(3)，其中设有微流道(4)、四个条形波导和两个等腰直角棱镜，两个棱镜的斜面构成微流道，微流道一端密封，另一端为向外延伸的曲面结构(11)，曲面外侧贴有薄膜(12)，薄膜外侧是电调谐控制器件(13)；第三层为底板(14)；盖板下表面与波导层、波导层与底板通过等离子辅助键合方式连接，实现密封及固定的效果。本发明属于光交叉连接、光分插复用器件的技术领域，目的在于提出一种微流控阵列光开关芯片，解决微流控阵列光开关的压电控制、波导层制作以及集成化方法问题。

主权项

一种模块式电调谐微流控阵列光开关芯片，其特征在于该芯片采用“盖板+波导层+底板”结构，其中，第一层为盖板(1)，盖板上留有接线孔(2)；第二层为波导层(3)，其中每一个单元都设有微流道(4)、第一条形波导(5)、第二条形波导(6)、第三条形波导(7)、第四条形波导(8)、第一等腰直角棱镜(9)、第二等腰直角棱镜(10)，其中，两个棱镜的斜面构成微流道(4)，微流道(4)的一端密封，另一端为向外延伸的曲面结构(11)，曲面外侧贴有薄膜(12)，薄膜外侧是电调谐控制器件(13)；第一条形波导(5)、第二条形波导(6)、第三条形波导(7)、第四条形波导(8)顺序相差90度设置；第三层为底板(14)；盖板(1)的下表面与波导层、波导层与底板通过等离子辅助键合方式连接，实现密封及固定的效果。