[发明专利]固结磨料抛光垫及其制备方法有效
| 申请号： | 201110068907.8 | 申请日： | 2011-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102689270A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋莉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D18/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种固结磨料抛光垫及其制备方法，所述固结磨料抛光垫包括基底和固结在所述基底上的若干分立的磨料块，所述磨料块包括至少两层子磨料层，所述各子磨料层中磨料的密度由顶层至底层依次增大。本发明提供的固结磨料抛光垫能够保持固结磨料抛光法进行抛光操作时的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 固结 磨料 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种固结磨料抛光垫，包括基底和固结在所述基底上的若干分立的磨料块，其特征在于，所述磨料块包括至少两层子磨料层，所述各子磨料层中磨料的密度由顶层至底层依次增大。
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