[发明专利]一种基于激光自准直的二维微角度测量装置

摘要

本发明公开了一种基于激光自准直的二维微角度测量装置。它包括半导体激光器、偏振分光棱镜、1/4波片、透镜、被测物体或反光镜、四象限光电探测器、底座、信号处理器；在底座上固定有半导体激光器、偏振分光棱镜、1/4波片、透镜、四象限光电探测器，半导体激光器发出的光束经偏振分光棱镜后分为两束，其中一束光入射在被测物体表面，反射光经偏振分光棱镜后由四象限光电探测器接收并转化为四路电信号，该信号经信号处理器的I-V转换器、数字滤波器、数据采集器、数据存储器后，在计算机中完成信号分析并显示。本发明实现二维微角度的同时测量，结构简单、体积小、精度高、分辨力和测量范围可调、动态响应好。

主权项

一种基于激光自准直的二维微角度测量装置，其特征在于包括半导体激光器1、偏振分光棱镜2、1/4波片3、透镜4、被测物体或反光镜5、底座6、四象限光电探测器7、信号处理器8；在底座（6）上固定有半导体激光器（1）、偏振分光棱镜（2）、1/4波片(3)、透镜(4)、四象限光电探测器(7)，半导体激光器(1)发出的光束经偏振分光棱镜(2)后分为两束，其中一束光入射在被测物体(5)表面，反射光经偏振分光棱镜(2)后由四象限光电探测器(7)接收并转化为四路电信号，该信号经信号处理器(8)的I‑V转换器、数字滤波器、数据采集器、数据存储器后，在计算机中完成信号分析并显示。