[发明专利]X射线透射检查装置及X射线透射检查方法有效
申请号: | 201110071723.7 | 申请日: | 2011-03-15 |
公开(公告)号: | CN102213683A | 公开(公告)日: | 2011-10-12 |
发明(设计)人: | 的场吉毅 | 申请(专利权)人: | 精工电子纳米科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 何欣亭;王忠忠 |
地址: | 日本千叶*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及X射线透射检查装置及X射线透射检查方法,防止因试料与X射线检测器的距离的变化引起的对异物检测的误检测。包括:向检查对象试料元素照射X射线的X射线管球(11);检测X射线透射试料时的透射X射线的X射线检测器(13);从透射X射线的透射像获得对比度像的运算部(17);计算试料与检测器之间的距离的传感器;以及调整X射线检测器的位置的机构。在保持试料与X射线检测器之间的距离固定的同时拍摄X射线透射像。 | ||
搜索关键词: | 射线 透射 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种X射线透射检查装置,包括:X射线管球,向移动的检查对象试料照射X射线;X射线检测器,接受上述X射线透射上述试料时的透射X射线并检测其强度;以及运算部,从表示检测到的上述透射X射线的强度分布的透射像获得对比度像;其特征在于包括:距离测定部,测定上述检查对象试料与X射线检测器之间的距离;和距离调整机构,基于该距离测定部的测定结果相对地调整上述试料与上述X射线检测器之间的距离。
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