[发明专利]利用可变孔隙来进行的离子注入法以及离子注入机无效
| 申请号： | 201110072190.4 | 申请日： | 2011-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN102208320A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 万志民;约翰·D·波拉克;唐·贝瑞安;任克川 | 申请（专利权）人： | 汉辰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有可变孔隙的孔隙调整装置，用以先改变离子束形状，特别是在衬底附近改变离子束的最终形状，然后再以成形后离子束来对衬底进行离子注入。因此，衬底的不同部分或是不同的衬底，可在不使用公知通过多个固定孔隙或是每次都要重新调整离子束等方法的情况下，分别通过不同的成形后离子束来进行离子注入。换句话说，不需要高成本与复杂的操作步骤，即可达成分别通过特制离子束来进行不同离子注入的目的。另外，相较于现有技术，由于可变孔隙的调整可通过机械操作而易于达成，故能加速离子束调整过程，以获得进行离子注入的一特定离子束的离子束调整过程。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 可变 孔隙 进行 离子 注入 以及 | ||
【主权项】：
一种离子注入法，利用一可变孔隙来进行，包括：提供一离子束以及一衬底；以及调整一孔隙调整装置内的所述可变孔隙，以通过被所述可变孔隙改变过形状的一成形后离子束来对所述衬底进行离子注入。
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