[发明专利]一种基于多波长的对准系统及对准方法有效
| 申请号： | 201110074451.6 | 申请日： | 2011-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN102692822A | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 韩悦 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于多波长的对准系统，该对准系统能兼容各种对准标记。该对准系统包括：提供至少两个波长的对准辐射源，光学单元，对准标记、探测单元及处理单元，该处理单元获得该标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对该全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算参与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波长 对准 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于多波长的对准系统，包括：提供至少两个波长的对准辐射源，光学单元，对准标记、探测单元及处理单元，其特征在于，所述处理单元获得所述标记在不同辐射源照射下的全部级次信号，设定粗捕获及精捕获范围后对所述全部级次信号进行对准级次的权重设置，并计算参与对准位置计算的级次权重；根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围，计算对准位置。
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