[发明专利]可调谐宽带相位自补偿延迟器

摘要

一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，由两块薄膜型相位延迟片、两个三维光学调整架和旋转平台组成。两块薄膜相位延迟片置于三维光学调整架上通过调节步进电机按要求转动，入射光束分别在两块相位延迟膜片上反射，实现相位自补偿延迟和特定的宽带相位延迟。在宽波段内按要求调节步进电机转动，使得在两块膜片上以不同角度入射，获得稳定的所需相位延迟，可用于飞秒激光加工。本发明具有结构简单，容易制作，容易调节，通过步进电机的不同转角可以获得相位延迟补偿或产生特定宽带相位延迟。

主权项

一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于包括第一光学调整架(1)、第二光学调整架(2)、第一宽带相位延迟片(4)、第二宽带相位延迟片(3)和调节平台，所述的调节平台由第一步进电机(5)、第二步进电机(6)、固定底板(7)和转动台(8)组成，所述转动台(8)固定在所述的固定底板(7)上，所述的固定底板(7)上设有主步进电机(10)，所述的转动台(8)由主步进电机(10)驱动，所述的第一宽带相位延迟片(4)和第二宽带相位延迟片(3)分别贴设在所述的第一光学调整架(1)和第二光学调整架(2)的镜框内，所述的第一光学调整架(1)和第二光学调整架(2)分别通过所述的第一步进电机(5)和第二步进电机(6)垂直地固定在所述的转动台(8)上。