[发明专利]折梁屈曲射频微开关有效
| 申请号： | 201110075734.2 | 申请日： | 2011-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102243940A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 田文超;阮红芳;杨银堂;曹艳荣 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;朱红星 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种折梁屈曲射频微开关，主要解决现有开关的驱动电压高、响应时间长、损耗高等问题。本发明包括：调节电极对(31，32)、固定机座(33)、驱动电极对(34，35)和外构架(39)，其中：外构架(39)的内壁上固结有微梁(36)和折梁(38)，折梁(38)采用多个矩形弯曲结构，微梁(36)采用纵横弯曲屈曲变形结构，折梁(38)位于微梁(36)的两端，且为一体结构；固定机座(33)与外构架(39)的两端设有导向机构(37)；调节电极对(31，32)采用梳齿状结构，且上下对称。本发明具有低电压、高频响应、高隔离度、低损耗的优点，可用于射频收发电路、微波集成电路、雷达天线T/R组件、射频双工电路中。 | ||
| 搜索关键词： | 屈曲 射频 开关 | ||
【主权项】：
一种折梁屈曲射频微开关，包括：调节电极对(31，32)、固定机座(33)、驱动电极对(34，35)和外构架(39)，其特征在于：固定机座(33)与外构架(39)的两端设有导向机构(37)，用于限制微梁的左右摆动；外构架(39)的内壁上固结有微梁(36)和折梁(38)，该微梁(36)和折梁(38)为一体结构，且折梁(38)位于微梁(36)的两端；调节电极对(31，32)采用梳齿状结构，固定在微梁(36)上，且上下对称。
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