[发明专利]一种消除轻质反射镜压印效应的抛光装置

摘要

一种消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，适用于大口径、高轻量化、高径厚比反射镜高精度加工的抛光装置，属于光学表面加工领域，它由密封缸、顶盖、支撑座、弧形夹具、弹性密封圈、微型气泵、精密截止阀、精密泄压阀、四通体以及硅胶管组成。抛光过程中，外加压力引起轻质反射镜内腔孔对应镜面与筋粘接镜面弹性变形不连续而导致高精度抛光后，面形呈现波浪形的压印效应已成为轻质结构反射镜高精度加工的技术壁垒。本发明公开的抛光装置将反射镜浸入于由密封缸，顶盖，弹性密封圈构成的密封腔中，并对其内腔充气。轻质反射镜镜面在重力、磨头压力以及反向充气压力作用下达到平衡，消除压印效应，实现大口径，高轻量化反射镜的高精度加工。

主权项

一种消除轻质反射镜压印效应的抛光装置，由浸入式密封抛光平台与精密充气装置组成，其特征在于：所述浸入式密封抛光平台由密封缸(8)、顶盖(2)、三角形支撑座(4)、钢球(5)、弧形夹具(3)和弹性密封圈(1)构成；三个三角形支撑座(4)置于密封缸(8)内腔底面的三个钢球(5)上，并在每个三角形支撑座(4)上表面粘接三个垫片(6)；顶盖(2)通过螺栓固定于密封缸(8)上，弹性密封圈(1)的充气嘴(21)穿过顶盖侧面通孔(18)，并置于顶盖(2)与轻质反射镜(7)间；螺栓(24)穿过密封缸侧面螺纹孔(23)与弧形夹具(3)相连，通过调节螺栓(24)移动弧形夹具(3)，使弧形夹具(3)对轻质反射镜(7)进行切向约束；所述的精密充气装置由微型气泵(9)、直流电源(10)、精密截止阀(14)、精密泄压阀(11)、膜合气压表(12)、四通体(13)和硅胶管(15)组成；直流电源(10)与微型气泵(9)相连接，微型气泵(9)通过硅胶管(15)与精密截止阀(14)相连，四通体(13)四个端口分别与精密截止阀(14)、精密泄压阀(11)、膜合气压表(12)和密封缸(8)相连。