[发明专利]一种镀膜石墨框的超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201110076259.0 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102211097A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 姚伟忠 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种镀膜石墨框的超声波清洗装置，包括清洗槽、超声波振子安装框、超声波发生器、摆动承载框、支承轴、伞状齿轮、主动齿轮、伺服电机和电控部件，超声波发生器设置在超声波振子安装框内，并位于清洗槽的底部，摆动承载框可摆动地安装在清洗槽内，伺服电机通过主动齿轮与伞状齿轮啮合传动方式驱动摆动承载框作往复摆动。超声波发生器的设置加速了氢氟酸溶液与氮化硅反应，摆动承载框的左右摆动既增加了石墨框与氢氟酸溶液的接触，又能均化清洗槽内氢氟酸溶液的浓度，更利于氢氟酸溶液与氮化硅反应，与现有技术相比，不仅速度快，而且清洗效果好，即使沾附在石墨框边角处的氮化硅或污物也能被清除，生产所需的周转石墨框只有现有技术的1/2。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 石墨 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜石墨框的超声波清洗装置，其特征是：包括清洗槽(1)、超声波振子安装框(2)、超声波发生器(3)、摆动承载框(4)、支承轴(5)、伞状齿轮(6)、主动齿轮(7)、伺服电机(8)和电控部件(9)，超声波发生器(3)设置在超声波振子安装框(2)内，超声波振子安装框(2)设置在清洗槽(1)的底部，摆动承载框(4)通过支承轴(5)安装在清洗槽(1)内，支承轴(5)一端伸出清洗槽(1)外，在支承轴(5)的伸出端装有伞状齿轮(6)，主动齿轮(7)安装在伺服电机(8)的输出轴上，主动齿轮(7)与伞状齿轮(6)相啮合，超声波发生器(3)和伺服电机(8)均与电控部件(9)电连接，超声波发生器(3)和伺服电机(8)由电控部件(9)控制，电控部件(9)控制伺服电机(8)进行正反交潜转动，通过主动齿轮(7)和伞状齿轮(6)带动摆动承载框(4)往复摆动。
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