[发明专利]具有微构造的基板及其制备方法有效
| 申请号： | 201110076876.0 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102723413A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 魏洋;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/12 | 分类号： | H01L33/12;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有微构造的基板的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，所述基底具有一外延生长面；在所述基底的外延生长面上生长一缓冲层；在所述缓冲层远离基底的表面设置一碳纳米管层；在所述设置有碳纳米管层的缓冲层表面上生长外延层；去除所述基底，得到所述具有微构造的基板。本发明进一步提供所述方法制备的一种具有微构造的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 构造 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有微构造的基板的制备方法，其包括以下步骤：提供一蓝宝石基底，所述蓝宝石基底具有一外延生长面；在所述基底的外延生长面生长一低温GaN缓冲层；在所述缓冲层远离基底的表面设置一碳纳米管层；在所述缓冲层远离基底的表面生长一GaN外延层；以及去除所述基底。
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