[发明专利]水晶基板的蚀刻方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟无效
| 申请号： | 201110076944.3 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102299255A | 公开（公告）日： | 2011-12-28 |
| 发明（设计）人： | 船曳阳一;荒武洁 | 申请（专利权）人： | 精工电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H03H9/02;H03H9/215;G04G9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王忠忠 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能高精度地加工的水晶基板的蚀刻方法、用该方法形成的压电振动片、具有该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。本发明的特征在于：在水晶基板(70)的第一面(70a)接合具有与水晶基板(70)大致相同的蚀刻速度的辅助基板(72)，在此状态下，从水晶基板(70)的第二面(70b)侧起对水晶基板(70)及辅助基板(72)连续地进行干蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 水晶 蚀刻 方法 压电 振动 振动器 振荡器 电子设备 电波 | ||
【主权项】：
一种水晶基板的蚀刻方法，其特征在于：在所述水晶基板的第一面接合具有与所述水晶基板大致相同的蚀刻速度的辅助基板的状态下，从所述水晶基板的第二面侧起对所述水晶基板及所述辅助基板连续地进行干蚀刻。
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