[发明专利]磷锑共掺杂锡酸锌薄膜、其制备方法及有机电致发光器件有效
| 申请号： | 201110077076.0 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102719790A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;黄辉 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H01L51/52;H01L51/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 518100 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于发光材料领域，其公开了一种磷锑共掺杂锡酸锌薄膜及其制备方法、有机电致发光器件；该磷锑共掺杂锡酸锌薄膜包含如下化学组分(质量百分比)P2O5、0.5～5％，Sb2O5、1～10％，余量为ZnO和SnO2，且ZnO和SnO2比为52：48。本发明采用磁控溅射设备，制备磷锑共掺杂锡酸锌薄膜(APZTO)，得到薄膜可见光平均透过率大于85％，最低电阻率为8.6×10-4Ω·cm，表面功函数5.3eV；氧化锌和氧化锡的配比是固定的，组成锡酸锌，然后磷和锑元素的量是可以变化的，改变薄膜性能。 | ||
| 搜索关键词： | 磷锑共 掺杂 锡酸锌 薄膜 制备 方法 有机 电致发光 器件 | ||
【主权项】：
一种磷锑共掺杂锡酸锌薄膜，其特征在于，该薄膜包含如下化学组分(质量百分比)：P2O5 0.5～5％；Sb2O5 1～10％；余量为ZnO和SnO2，且ZnO和SnO2质量百分比为52∶48。
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