[发明专利]悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器

摘要

一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，硅衬底上设有以介质层作为结构层的悬臂梁，悬臂梁根部设有对称排列、结构相同的第一、第二压电单元，压电单元包括压电层、设在压电层上下的上电极和下电极，下电极设在介质层上，下电极是下电极金属层的一部分，设有隔离介质层覆盖介质层、压电层和下电极金属层，上电极设在压电层上部的隔离介质层上，悬臂梁的隔离介质层上设有超分子化合物薄膜作为瓦斯敏感层，悬臂梁之外的隔离介质层旁设有连接下电极的下电极引线和连接上电极的上电极引线。采用压电驱动悬臂梁谐振及压电拾振方式检测，实现瓦斯浓度的检测。该传感器具有免受毒化、不会受瓦斯高浓度冲击、性能稳定、使用寿命长、体积小等特点。

主权项

一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器，其特征在于：该传感器以硅衬底（101）为基底，在硅衬底（101）上设有以介质层（1021）作为结构层的悬臂梁结构（107），悬臂梁结构（107）的根部并排设有第一压电单元（1061）和第二压电单元（1062），压电单元包括压电层（104）、设在压电层（104）上下的上电极（1032）和下电极（1031），下电极（1031）设在介质层（1021）上，介质层（1021）、压电层（104）和下电极（1031）上覆盖有隔离介质层（1022），上电极（1032）设在压电层（104）上部的隔离介质层（1022）上，介质层（1021）悬臂梁一侧的隔离介质层（1022）上设有瓦斯敏感层（105），介质层（1021）悬臂梁后部的隔离介质层（1022）旁设有连接下电极（1031）的下电极引线（10311）和连接上电极（1032）的上电极引线（10322）。