[发明专利]一种太阳能电池的制造方法

摘要

本发明涉及太阳能电池的制造方法，可有效减少电池背面复合中心，提高电池Rsh，提升电池的性能。所述太阳能电池的制造方法，包括对硅片进行扩散制结、周边刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极和烧结，印刷电极之前对沉积减反射膜后的硅片背面进行刻蚀，去除背表面在扩散制结过程中由于磷吸杂所形成的含非ⅢA和/或ⅤA族元素的杂质层。所述对沉积减反射膜后的硅片背面进行刻蚀的方法为离子束刻蚀、反应离子刻蚀或电化学腐蚀。本发明可以去除电池背表面由于扩散后的背面磷吸杂（单面扩散硅片的背面也有非故意的磷扩散，尤其是背面边缘部分）而形成的高浓度的深能级杂质层，减少背面复合中心，进而减少载流子的背面复合，提高电池Rsh，提升电池的性能。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，包括对硅片进行扩散制结、周边刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极和烧结，其特征在于，印刷电极之前对沉积减反射膜后的硅片背面进行刻蚀，去除背表面在扩散制结过程由于磷吸杂所形成的含非IIIA和/或VA族元素的杂质层。