[发明专利]多晶硅行业废气液焚烧处理后回收二氧化硅的装置及方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅行业废气废液焚烧处理后干法回收二氧化硅的装置及方法，方法包括如下步骤：设备安装连接后，打开烟气输送管上的烟气入口控制阀门，使得高温烟气进入金属滤芯式过滤器内，粉料被高温气体过滤滤芯阻挡，粉料经负压输送至粉体收集器，粉体收集器收集的粉体进入脱气器内脱气，脱气后的粉料经密封包装机包装成二氧化硅粉体成品袋；当过滤器工作一段时间后，启动反吹气体储气包与反吹阀门，通过金属滤芯式过滤器内安装的反吹气体管对高温气体过滤滤芯进行由内向外的反吹；反吹结束后，高温气体过滤滤芯即被反吹清洗。本发明在集中处理废气废液达到环保要求的同时，有效回收气相二氧化硅，并形成产业化，创造更高的经济价值。

主权项

一种多晶硅行业废气废液焚烧处理后回收二氧化硅的装置，其特征是：将烟气输送管与两台并联的金属滤芯式过滤器（1）的烟气入口端相接，金属滤芯式过滤器（1）的粉体出口端安装有卸料阀（16），卸料阀（16）通过管道接负压输送管道（17）的中段，负压输送管道（17）的进口端设有进风过滤器（18），负压输送管道（17）的出口端与粉体收集器（12）的粉体入口端相接，粉体收集器（12）的粉体出口端与脱气器（13）的入口端相接，脱气器（13）的出口端与密封包装机（15）的入口端相接，在粉体收集器（13）上连接有罗茨风机（14）；将反吹气体储气包（6）的出口端通过管道与两台并联连接的金属滤芯式过滤器（1）的反吹气体入口端相接，反吹气体储气包（6）外具有储气包伴热系统（19）；所述的金属滤芯式过滤器（1）内通过隔板将其内部空间分成上下两个独立的腔室，在隔板上安装高温气体过滤滤芯（4），在隔板上方的金属滤芯式过滤器（1）上连接有烟气外排管道，在烟气外排管道上设有烟气出口控制阀门（8），烟气外排管道伸入水池内；在隔板下方的金属滤芯式过滤器（1）外安装有过滤器伴热系统（2），在金属滤芯式过滤器（1）上安装有差压变送器（5），差压变送器（5）的两个感应头分别位于隔板上下方的空间内。