[发明专利]大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明公开了一种大面积柔性薄膜太阳能电池及其制造方法，先在硬性基板表面形成应力引导释放结构，在粘贴脱离保护膜之后，在脱离保护膜表面形成透明导电前电极之前或之后对脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理。脱离保护膜作为在硬性基板上制造柔性薄膜太阳能电池的载体，本发明的方法能够很好地改善脱离保护膜应力分布的均匀性和可控性，极大地提高了脱离保护膜的平整度和尺寸稳定性。本发明的方法使得利用在硬性基板上制造薄膜太阳能电池的工艺和设备，来完成大面积柔性薄膜太阳能电池的制造能够实现。

主权项

一种大面积柔性薄膜太阳能电池的制造方法，包括：提供硬性基板；在所述硬性基板表面形成应力引导释放结构；在所述硬性基板表面粘贴脱离保护膜；对所述脱离保护膜进行夹持式加热稳定处理；在所述脱离保护膜表面形成透明导电前电极；在所述前电极表面沉积薄膜太阳能电池各层系并使其具有内级联结构；在所述薄膜太阳能电池各层系表面形成封装层；将所述脱离保护膜、薄膜太阳能电池各层系和封装层整体与所述硬性基板分离。