[发明专利]研磨盘调节器的监控装置及监控方法有效
| 申请号： | 201110082291.X | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102729136A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 钱小飞;陆铭 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;H01L21/304 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种研磨盘调节器的监控装置，包括相互连接的压力传感器和研磨盘调节器监控模块，所述压力传感器用于获取研磨盘调节器施加给研磨盘的压力的实际大小，生成压力信号并传输给所述研磨盘调节器监控模块，所述研磨盘调节器监控模块对所述压力信号进行处理后输出给显示器显示压力信息。本发明还涉及一种研磨盘调节器的监控方法。上述研磨盘调节器的监控装置及方法通过设置压力传感器，实时获取并监控研磨盘调节器施加给研磨盘的压力的实际大小，使得操作员可以在压力异常时及时注意并进行调整，避免因压力异常造成产品报废，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调节器 监控 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨盘调节器的监控装置，其特征在于，包括相互连接的压力传感器和研磨盘调节器监控模块，所述压力传感器用于获取研磨盘调节器施加给研磨盘的压力的实际大小，生成压力信号并传输给所述研磨盘调节器监控模块，所述研磨盘调节器监控模块对所述压力信号进行处理后输出给显示器显示压力信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110082291.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
