[发明专利]执行装置和机械手有效
| 申请号： | 201110082395.0 | 申请日： | 2011-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102738293A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 张金斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种执行装置和机械手，该执行装置包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。本发明提供的技术方案中，执行装置通过第一封闭部件线形接触被吸附晶片，被吸附晶片无需与第一部件直接面接触，避免了由于被吸附晶片和执行装置面接触而产生缝隙所造成的真空度达不到设定真空度的问题，从而避免了执行装置吸取晶片失败。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 装置 机械手 | ||
【主权项】：
一种执行装置，其特征在于，包括用于线性接触被吸附晶片的第一封闭部件，且在所述执行装置吸附所述被吸附晶片的过程中所述被吸附晶片吸附在所述第一封闭部件上。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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