[发明专利]手套箱装置及工件传输的方法在审
申请号: | 201110084290.9 | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN102185120A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 杨明生;王银果;刘惠森;范继良;王曼媛 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种手套箱装置,包括密封的呈中空结构的密封箱,密封箱上开设有手套口,手套口上密封连接有密封手套,密封箱内隔离形成一密封的呈中空结构的过渡箱,过渡箱上开设有第一过渡口及第二过渡口,第一过渡口与外界连通,第二过渡口与手套箱内部连通,第一过渡口、过渡箱及第二过渡口形成一条由外界通往手套箱内部的送件通道,对应第一过渡口及第二过渡口设有密封用的第一仓门及第二仓门,第一仓门设在手套箱的外部,第二仓门设在手套箱的内部,过渡箱上还开设有充气口和抽气口,充气口与充气装置连通,抽气口与抽气装置连通。本发明手套箱装置能够将工件放置在抽气后充入氮气环境进行使用和操作,另,本发明还公开一种工件传输的方法。 | ||
搜索关键词: | 手套 装置 工件 传输 方法 | ||
【主权项】:
一种手套箱装置,所述手套箱装置包括密封的呈中空结构的密封箱,所述密封箱与外界充气装置及抽气装置连通,所述密封箱上开设有手套口,所述手套口上密封连接有密封手套,其特征在于:所述密封箱内隔离形成一密封的呈中空结构的过渡箱,所述过渡箱上开设有第一过渡口及第二过渡口,所述第一过渡口与外界连通,所述第二过渡口与所述手套箱内部连通,所述第一过渡口、过渡箱及第二过渡口形成一条由外界通往所述手套箱内部的送件通道,对应所述第一过渡口及第二过渡口设有密封用的第一仓门及第二仓门,所述第一仓门设在所述手套箱的外部,所述第二仓门设在所述手套箱的内部,所述过渡箱上还开设有充气口和抽气口,所述充气口与所述充气装置连通,所述抽气口与所述抽气装置连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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