[发明专利]一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法

摘要

本发明提供了一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法，将表面样品安装在待测精密主轴上，控制系统控制待测精密主轴到一个角度θ位置，依次采集待测精密主轴在完整圆周位置上表面样品的表面形貌图；形貌数据配准分析处理系统将所获得的若干表面形貌图进行分析，并进行误差评价。本发明对随精密主轴回转的表面样品形貌进行测量及后续形貌配准分析处理，表面样品没有很高的精度要求，不需要昂贵的标准外圆轮廓或复杂测试系统及测试过程，如果选用二维形貌/图像传感器，可测量主轴的径向回转误差；如果选用三维形貌测量传感器，可同时测量主轴径向和轴向回转误差；采用高分辨率的测量传感器，则可实现纳米级精度的主轴回转误差检测。

主权项

一种基于形貌配准分析的精密主轴回转精度检测方法，其特征在于，首先，将表面样品安装在待测精密主轴上，调整表面样品的位置，使其在待测精密主轴的回转中心附近；二、调节表面微观形貌测量传感器相对于表面样品的位置，使得表面微观形貌测量传感器的测量范围覆盖到表面样品随待测精密主轴旋转时的回转中心位置；三、控制系统控制待测精密主轴到某一角度位置，由表面微观形貌测量传感器测量一幅表面形貌图；控制系统控制待测精密主轴到一个角度θ位置，再次测量一幅表面形貌图；按照上述过程，依次采集待测精密主轴在完整圆周位置上表面样品的表面形貌图；四、形貌数据配准分析处理系统将所获得的若干表面形貌图进行分析，即可得到待测精密主轴的回转误差数据，并进行误差评价。