[发明专利]采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法无效
申请号: | 201110086195.2 | 申请日: | 2011-04-07 |
公开(公告)号: | CN102737924A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 张敏;王小霞;罗积润;赵庆兰;廖显恒 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02;C23C4/12;C23C4/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法。该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在等离子炬中的等离子气氛下加热氧化物喷涂材料,使氧化物喷涂材料撞击并附着在阴极基底上,形成氧化物阴极。本发明采用等离子喷涂制备氧化物阴极,所制备的氧化物阴极中不会残留有害物质,从而提升了微波管的性能。 | ||
搜索关键词: | 采用 等离子 喷涂 制备 氧化物 阴极 方法 | ||
【主权项】:
一种采用等离子喷涂制备氧化物阴极的方法,其特征在于,该方法包括:制备氧化物喷涂材料;将制备的所述氧化物喷涂材料置入等离子炬中,装配阴极基底至喷涂模具;在所述等离子炬中的等离子气氛下加热所述氧化物喷涂材料,使所述氧化物喷涂材料撞击并附着在所述阴极基底上,形成氧化物阴极。
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