[发明专利]清洁装置及清洁方法、薄膜生长反应装置及生长方法

摘要

一种用于清洁薄膜生长反应腔的内表面的清洁装置，包括支撑单元、清洁单元、电机和电源供应装置。其中，清洁单元包括一面向所述反应腔的内表面的表面，所述表面上设置有若干刮擦部件；电机设置于所述支撑单元上，电机包括一驱动轴，所述驱动轴的一端与所述清洁单元相连接并带动其运动；电源供应装置，其与所述电机相连接。本发明的清洁装置提供了自动化程度高的、有效的、省时的清洁反应腔的内表面的方法，并保证每次清洁的质量和一致性。

主权项

一种用于清洁一薄膜生长反应腔的内表面的清洁装置，其特征在于，包括：支撑单元，其包括一支撑面；清洁单元，其包括一面向所述反应腔的内表面的表面，所述表面上设置有若干刮擦部件；电机，其设置于所述支撑单元上，所述电机包括一驱动轴，所述驱动轴的一端与所述清洁单元相连接并带动其运动；以及电源供应装置，其与所述电机相连接。