[发明专利]旋涂装置有效
| 申请号： | 201110087650.0 | 申请日： | 2011-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN102671832A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 赵长春 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;苏州京东方茶谷电子有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;G03F7/16;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋涂装置。该旋涂装置包括：密封舱；安装在密封舱内的平衡部件；模具夹具，其连接在平衡部件上面；用于驱动平衡部件和模具夹具的驱动电机；旋涂剂注入装置，其安装在密封舱的外表面上；真空装置，其用于对密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种旋涂装置，包括：密封舱；平衡部件，其安装在所述密封舱内；模具夹具，其安装在所述平衡部件上面，用于装夹待涂覆旋涂剂的模具；驱动电机，其主轴与平衡部件相连接，用于驱动整个密封舱；旋涂剂注入装置，其安装在所述密封舱的外表面上；真空装置，其用于将所述密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与所述旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。
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