[发明专利]一种超精密工作台有效
| 申请号： | 201110090892.5 | 申请日： | 2011-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102189413A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 陈学东;李巍;罗欣;李小平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B23Q1/25 | 分类号： | B23Q1/25;B23Q1/26;B23Q1/38 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 工作台 | ||
【主权项】：
一种超精密工作台，其特征在于，该超精密工作台包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。
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