[发明专利]一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法

摘要

本发明公开了一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法。本发明利用FPGA按特定结构读取内存中的按特定结构存储的数据，并根据触发信号控制图形发生器显示，用于实现移动曝光过程中对待曝光区域中每个像素点曝光次数的控制。本发明利用计算机学科中的二进制权值展开方式结合内存分区域读取的方法，使待曝光区域的每个像素点曝光次数得到控制，并给出了使每个待曝光像素点在移动过程中都按二进制权值展开方式进行曝光的方法。本发明对内存的接口带宽要求仅为相当于一个DMD视场像素点个数的单色位图的大小乘以刷新率。并可实现在DMD有缺陷像素点的情况下，待曝光区域的每个像素依然可控制。

主权项

一种应用于直写式光刻机的灰阶曝光的方法，利用FPGA实现，其特征在于：包括以下步骤：（1）首先将FPGA中用于存储灰阶图形数据的存储器划分为N个相同大小的区域，N表示灰阶图形灰阶的阶数；（2）利用FPGA分别提取用来表示灰阶图形数据的二进制码的每一位，并依次形成与灰阶图形像素点分布一致的N张单色图形数据，然后将N张单色图形数据分别存储到存储器各个区域中；（3）当待曝光器件与图形发生器所反射的激光光束相对位置移动了一个曝光像素点时，更新一次图形发生器的图形显示，同时，FPGA分别从存储器的每个区域读取行的曝光数据形成一张与图形发生器像素分布一致的像素数据，并控制图形发生器显示。