[发明专利]Co-P薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201110092400.6 申请日: 2011-04-13
公开(公告)号: CN102181897A 公开(公告)日: 2011-09-14
发明(设计)人: 卢年端;李亮亮;蔡坚;李燕秋 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: C25D5/18 分类号: C25D5/18;C25D5/20;C25D3/56
代理公司: 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 代理人: 张良
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种Co-P薄膜的制备方法,首先,制备电解液、钴片和基片;其次,多相脉冲电源的阳极与所述钴片相连接,多相脉冲电源的阴极与所述基片相连接,所述钴片和基片浸没在所述电解液中;最后,将含有所述钴片和基片的所述电解液放置在超声波振动器中,用所述超声波振动器和多相脉冲电源进行电镀。制备出的Co-P薄膜粘附性很强,并可广泛应用于具有不同结构和不同P含量的Co-P薄膜的制备。
搜索关键词: co 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种Co‑P薄膜的制备方法,包括:分别制备电解液、钴片和基片;将多相脉冲电源的阳极与所述钴片连接,将多相脉冲电源的阴极与所述基片相连接,将所述钴片和基片浸没在所述电解液中;将含有所述钴片和基片的所述电解液放置在超声波振动器中,用所述超声波振动器和多相脉冲电源进行电镀。
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