[发明专利]微孔抛光垫有效
| 申请号： | 201110093293.9 | 申请日： | 2003-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102189506A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 阿巴尼什瓦·普拉萨德 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24D13/00 | 分类号： | B24D13/00;B24D3/32;B24B39/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及微孔抛光垫，更具体地说，本发明提供用于化学-机械抛光的包括多孔发泡体的抛光垫及其制造方法。一个具体实施方式中，该多孔发泡体平均孔径为50微米或以下，其中75％或以上的孔隙具有平均孔径20微米或以下的孔径。在一个具体实施方式中，多孔发泡体的平均孔径20微米或以下。又另一个具体实施方式中，该多孔发泡体具有多-模态孔径分布。该制造方法包括(a)使聚合物树脂与超临界气体结合产生单相溶液，及(b)从该单相溶液形成抛光垫，其中通过使气体经历高温及高压产生超临界气体。 | ||
| 搜索关键词： | 微孔 抛光 | ||
【主权项】：
一种供化学‑机械抛光的抛光垫，包括具有平均孔径为50微米或更小的热塑性聚氨基甲酸酯发泡体，其中热塑性聚氨基甲酸酯的熔体流动指数(MFI)为20或更小，分子量为50,000克/摩尔至300,000克/摩尔，及多分散度指数为1.1至6。
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