[发明专利]采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法有效
| 申请号： | 201110093370.0 | 申请日： | 2011-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102181921A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王晓峰;段垚;崔军朋;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B33/02;C30B29/16 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，包括：在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。本发明的优点是不需要插入缓冲层，不需要对衬底进行特别的预处理，操作简便，重复性好。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 金属 化学 沉积 技术 制备 极性 可控 氧化锌 方法 | ||
【主权项】：
一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，包括：在c‑面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c‑面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。
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