[发明专利]检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法无效
| 申请号： | 201110093663.9 | 申请日： | 2011-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN102155425A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徐中武 | 申请（专利权）人： | 中山共享光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 中山市汉通知识产权代理事务所 44255 | 代理人： | 古冠开 |
| 地址： | 528437 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，包括如下步骤：A)将加速度传感器贴在分子泵的外壳；B)开启分子泵，利用加速度传感器测量分子泵的震动加速度值并送到频谱分析仪器；C)再利用频谱分析仪器得到在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据；D)利用在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据进行判断分子泵的轴承运行状态：(D1)当处于高频状态下，加速度信号值小且无杂频表示分子泵处于良好运行状态；(D2)当处于高频状态下，加速度信号值大且有杂频表示分子泵处于不良运行状态；(D3)当处于高频状态下，加速度信号值又大又密且杂频多，显示该泵状态非常差需要维修。该方法能使用户能方便迅速掌握分子泵的状态，快捷得出正常，风险及危险等结论，及时发现分子泵核心部件可能存在的缺陷，避免分子泵故障的扩大，降低机台的非预期停机率，节省成本。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 高速 真空 涡轮 分子 状态 方法 | ||
【主权项】：
检测高速高真空涡轮分子泵状态的方法，其特征在于：它包括如下步骤：A)将加速度传感器贴在分子泵的外壳；B)开启分子泵，利用加速度传感器测量分子泵的震动加速度值并送到频谱分析仪器；C)再利用频谱分析仪器得到在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据；D)利用在一定频率范围的加速度值频谱变化的数据进行判断分子泵的轴承运行状态：(D1)当处于高频状态下，加速度信号值小且无杂频表示分子泵处于良好运行状态；(D2)当处于高频状态下，加速度信号值大且有杂频表示分子泵处于不良运行状态；(D3)当处于高频状态下，加速度信号值又大又密且杂频多，显示该泵状态非常差需要维修。
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