[发明专利]一种光刻机直线运动驱动装置有效
| 申请号： | 201110095023.1 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102736435A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 范哲光;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻机直线运动驱动装置，通过柔性件使粗动台同粗动电机相连接，该柔性件根据需要具有不同结构，且各类柔性件在各个方向的刚度设置不同，在保证粗动电机驱动力有效的作用在粗动台上的同时，可消除粗动台同粗动电机之间因具有的多个连接点对粗动台沿导轨运动所造成的约束，同时能消除两侧导轨不平行对粗动台运动所带来的不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 直线运动 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻机直线运动驱动装置，包括：粗动台、分别设置于所述粗动台两侧的粗动电机以及分别设置于所述粗动电机外侧的导轨，所述粗动电机置于所述导轨之上，所述粗动台在所述粗动电机的驱动下沿所述导轨进行运动，其特征在于，还包括柔性件，所述粗动台通过所述柔性件同所述粗动电机相连接。
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