[发明专利]一种光刻机投影物镜微调平机构无效
| 申请号： | 201110095516.5 | 申请日： | 2011-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102141741A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 向阳;齐克奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域，该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成，每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成；支撑调整杠杆机构通过固定件将杠杆安装底座与安装基板固定，并通过安装件将物镜法兰和调节杠杆前端连接。本发明的有益效果是：该微调平机构采用三点支撑方式均匀分布在物镜边缘，通过支撑调整杠杆机构不仅可以提高螺纹调节的精度，还可以减小螺纹上所承受的载荷，并且可以根据不同的精度要求来设定杠杆的放大系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 微调 机构 | ||
【主权项】：
一种光刻机投影物镜微调平机构，包括安装基板(2)、安装件(3)、多个支撑调整杠杆机构(4)和固定件(5)，其特征在于：所述支撑调整杠杆机构(4)主要由杠杆安装底座(7)、调节杠杆(8)、轴(9)、轴限位件、预紧件和调整件组成，支撑调整杠杆机构(4)通过固定件(5)将杠杆安装底座(7)与安装基板(2)固定，并通过安装件(3)将物镜法兰(6)和调节杠杆(8)的前端连接；轴(9)位于杠杆安装底座(7)前部上表面的凹槽内，轴(9)两端通过轴限位件固定在杠杆安装底座(7)上；调节杠杆(8)和杠杆安装底座(7)通过预紧件对支撑调整杠杆机构(4)进行预紧，并通过调整件对支撑调整杠杆机构(4)进行调整。
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