[发明专利]激光处理方法和激光处理设备有效
| 申请号： | 201110096619.3 | 申请日： | 2011-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN102233479A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 柳炳韶;李炳植;张铉三;金范中 | 申请（专利权）人： | QMC株式会社;柳炳韶 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/06;B23K26/40 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 林锦辉;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种蓝宝石基底的激光处理方法，该方法包括：制备上面形成有彼此隔开的多个叠层部的蓝宝石基底；从激光光源辐射短脉冲激光束；使所述激光光源所辐射的所述激光束穿过光束整形组件；调节聚光单元或所述蓝宝石基底的位置，使得所述激光束通过所述聚光单元会聚到所述蓝宝石基底的内部；以及通过使所述激光束照射到所述蓝宝石基底内在所述蓝宝石基底内形成相变区。所述激光束被引入所述蓝宝石基底内，同时避开所述蓝宝石基底上形成有所述叠层部的区域，使得所述相变区被形成在所述蓝宝石基底内。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石基底的激光处理方法，包括：制备上面形成有彼此隔开的多个叠层部的蓝宝石基底；从激光光源辐射短脉冲激光束；使所述激光光源所辐射的所述激光束穿过光束整形组件；调节聚光单元或所述蓝宝石基底的位置，使得所述激光束通过所述聚光单元会聚到所述蓝宝石基底的内部；以及通过使所述激光束照射到所述蓝宝石基底内在所述蓝宝石基底内形成相变区，其中，所述激光束被引入所述蓝宝石基底内，同时避开所述蓝宝石基底上的形成有所述叠层部的区域，使得所述相变区被形成在所述蓝宝石基底内。
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