[发明专利]电容式超音波换能装置及其制作方法

摘要

一种电容式超音波换能装置，其中包含第一电极；绝缘层，其形成于该第一电极上；至少一个支撑框架，其形成于该绝缘层上；以及第二电极，其形成为与该第一电极隔开，其中该第一电极及该第二电极定义该电容式超音波换能装置的有效振荡区域，且定义该有效振荡区域的第一电极及第二电极的个别长度实质上相同。

主权项

一种用以制造电容式超音波换能装置的方法，其特征是包含：提供基板；在该基板上形成绝缘层；在该绝缘层上形成金属层；在该金属层上形成经图案化的光刻胶层，从而曝露出该金属层的部分；形成经图案化的第一金属层，其实质上与该经图案化的光刻胶层共平面；移除该经图案化的光刻胶层；形成经图案化的第二金属层，其与该经图案化的第一金属层实质上共平面；在该经图案化的第一金属层及该经图案化的第二金属层上形成经图案化的第三金属层，从而通过开口曝露出该经图案化的第一金属层的部分；以及通过上述这些开口移除该经图案化的第一金属层以及该金属层的部分。