[发明专利]一种粉体材料低温等离子体表面处理方法及其装置有效
| 申请号： | 201110101689.3 | 申请日： | 2011-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102744020A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J8/24 | 分类号： | B01J8/24;B01J19/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，所述方法步骤为：将粉体材料装入流化床内进行表面处理，流化床内抽真空，并且同时在流化床底部定量通入反应气体，通过施加电场在流化床内产生辉光放电等离子体。一种粉体材料低温等离子体表面处理装置，所述装置包括电极、流化床、流量调节器、气瓶、等离子体电源发生器、粒子过滤阱以及真空泵。本发明使得没有暴露在等离子体气氛中的表面得到处理，实现单个微粒的表面得到全部的处理，导致处理均匀性好，处理效率高，处理效果理想。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 低温 等离子体 表面 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种粉体材料低温等离子体表面处理方法，其特征在于，所述方法步骤为：将粉体材料装入流化床内进行表面处理，流化床内抽真空，并且同时在流化床底部定量通入反应气体，通过施加电场在流化床内产生辉光放电等离子体。
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