[发明专利]发光器件的制造方法无效

专利信息
申请号: 201110101866.8 申请日: 2006-03-23
公开(公告)号: CN102290535A 公开(公告)日: 2011-12-21
发明(设计)人: 岩城裕司;瀬尾哲史;熊木大介;中島晴惠;小島久味 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H05B33/10
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 朱黎明
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 公开了一种发光器件的制造方法,它包括如下步骤:沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室,从而使该基材通过一蒸发护罩的上方,该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔;加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质,从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出,在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层;在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩;所述开孔具有细长的形状,其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。
搜索关键词: 发光 器件 制造 方法
【主权项】:
一种发光器件的制造方法,它包括如下步骤:沿传递方向将一基材输送进入一个薄膜形成室,从而使该基材通过一蒸发护罩的上方,该蒸发护罩的上部具有至少一个开孔;加热位于该蒸发护罩下方蒸发源中的一种蒸发物质,从而在将该基材输送通过该蒸发护罩上方的同时使该蒸发物质从该蒸发护罩的所述开孔中逸出,在所述基材上形成一层含该蒸发物质的发光层;在形成所述发光层的过程中加热该蒸发护罩;所述开孔具有细长的形状,其细长的方向沿与所述传递方向垂直的第二方向排列。
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