[发明专利]扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构无效
| 申请号： | 201110103237.9 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN102760675A | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 李丙科;崔慧敏 | 申请（专利权）人： | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/22 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 宁燕 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构，它包括电机、联轴器、涡轮蜗杆减速机、传动轴、支撑架、底板、凸轮、碳化硅桨，其中电机、涡轮蜗杆减速机和支撑架均固定在底板上；电机的轴通过联轴器与涡轮蜗杆减速机相连，传动轴安装在两个支撑架上并可自由传动，涡轮蜗杆减速机与传动轴相连；凸轮固定在传动轴上，碳化硅桨设置在凸轮顶部，碳化硅桨一端连接在支撑架上并可绕其自由转动；它通过电机实现对推拉舟碳化硅桨俯仰角的精确控制，达到在有限的空间内完成对石英舟的送入、软着陆及退出的目的，不仅节省了扩散炉的设计成本和空间，而且使其性能得到极大的提高，解决了半导体硅片尺寸的不断增大与扩散炉有限体积之间的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 软着陆 推拉 角度 调整 机构 | ||
【主权项】：
一种扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构，其特征在于它包括电机、联轴器、涡轮蜗杆减速机、传动轴、支撑架、底板、凸轮、碳化硅桨，其中电机、涡轮蜗杆减速机和支撑架均固定在底板上；电机的轴通过联轴器与涡轮蜗杆减速机相连，传动轴安装在两个支撑架上并可自由传动，涡轮蜗杆减速机与传动轴相连；凸轮固定在传动轴上，碳化硅桨设置在凸轮顶部，碳化硅桨一端连接在支撑架上并可绕其自由转动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
